[实用新型]一种振镜长期扫描重复精度自动检测装置

摘要

本实用新型涉及振镜检测领域，特别涉及一种振镜长期扫描重复精度自动检测装置。振镜长期扫描重复精度自动检测装置，包括振镜、二极管激光器、转接板、测试板、探测器，所述二极管激光器通过转接板连接在振镜的光束入口，所述测试板位于振镜的光束出口的正下方，所述测试板的面积覆盖光束的扫描幅面，所述探测器连接在测试板上并位于扫描幅面内，所述探测器包括一个中心探测器和多个边缘探测器，所述中心探测器位于扫描幅面的中心，所述边缘探测器位于扫描幅面的边缘处，所述中心探测器和边缘探测器组成探测区域。本装置实现自动运行，人员只需要启动程序，到达规定时长后收集数据即可,采样率高，采样周期短，稳定性高。

主权项

一种振镜长期扫描重复精度自动检测装置，包括振镜（1），其特征在于，还包括可自动发出光束的二极管激光器（2）、转接板（3）、测试板（4）、对光电位置敏感的探测器（5），所述二极管激光器（2）通过转接板（3）连接在振镜（1）的光束入口，所述测试板（4）位于振镜（1）的光束出口的正下方，所述测试板（4）的面积覆盖光束的扫描幅面，所述探测器（5）连接在测试板（4）上并位于扫描幅面内，所述探测器（5）包括一个中心探测器（51）和多个边缘探测器（52），所述中心探测器（51）位于扫描幅面的中心，所述边缘探测器（52）位于扫描幅面的边缘处，所述中心探测器（51）和边缘探测器（52）组成探测区域。