[实用新型]一种具有减重结构的石英挠性加速度传感器

摘要

本实用新型公开了一种具有减重结构的石英挠性加速度传感器。其包括表头与混合集成电路，其中，表头包括壳体和表芯，表芯由上、下力矩器和石英挠性摆组件组成。石英挠性摆组件位于所述上力矩器与所述下力矩器之间。石英挠性摆组件包括石英摆片和线圈，石英摆片与线圈连接。石英摆片包括挠性梁、窗口、外环和极板；其中，窗口位于挠性梁的中间，外环位于挠性梁与极板的外缘，极板通过挠性梁与外环进行连接。在该石英挠性加速度传感器中，将石英挠性摆组件的结构进行改进，在同样的冲击、振动工作环境下，不仅能够降低石英挠性摆组件的破损率，还能有效预防石英摆片的挠性梁部分折断现象的发生，提高了石英挠性加速度传感器的抗冲击的能力。

主权项

一种具有减重结构的石英挠性加速度传感器，包括表头与混合集成电路，其中，所述表头包括壳体和表芯，所述表芯由上、下力矩器和石英挠性摆组件组成；所述石英挠性摆组件位于所述上力矩器与所述下力矩器之间，其特征在于：所述石英挠性摆组件包括石英摆片和线圈；所述石英摆片与所述线圈连接；所述石英摆片包括挠性梁、窗口、外环和极板；其中，所述窗口位于所述挠性梁的中间，所述外环位于所述挠性梁与所述极板的外缘，所述极板通过所述挠性梁与所述外环进行连接。