[实用新型]一种适合蚀刻工艺的低电阻SUS板有效

专利信息
申请号: 201621085136.8 申请日: 2016-09-28
公开(公告)号: CN206040620U 公开(公告)日: 2017-03-22
发明(设计)人: 夏玉龙;程毅 申请(专利权)人: 昆山维嘉益材料科技有限公司
主分类号: H01L23/14 分类号: H01L23/14
代理公司: 苏州广正知识产权代理有限公司32234 代理人: 徐萍
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种适合蚀刻工艺的低电阻SUS板,包括不锈钢基板层、电镀金属层以及蚀刻加强金属层,所述不锈钢基板层置于最下部,所述蚀刻加强金属层置于不锈钢基板层以及电镀金属层之间,所述电镀金属层置于最上部的表层,在所述蚀刻加强金属层表面设有多条附着力槽,所述电镀金属层通过电镀工艺将电镀金属层与附着力槽结合固定,所述电镀金属层包括电镀金层,所述电镀金属层的厚度设置为3μm‑5μm,所述蚀刻加强金属层的厚度设置为5μm‑10μm。所述低电阻不锈钢电镀板整体结构简单,制作工艺简单快捷,且制作成本低廉,能有效提高整体结构的磁导率,且还能较大程度上降低电阻值,具有较高的经济效益。
搜索关键词: 一种 适合 蚀刻 工艺 电阻 sus
【主权项】:
一种适合蚀刻工艺的低电阻SUS板,其特征在于:包括不锈钢基板层(1)、电镀金属层(2)以及蚀刻加强金属层(3),所述不锈钢基板层(1)置于最下部,所述蚀刻加强金属层(3)置于不锈钢基板层(1)以及电镀金属层(2)之间,所述电镀金属层(2)置于最上部的表层,在所述蚀刻加强金属层(3)表面设有多条附着力槽,所述电镀金属层(2)通过电镀工艺将电镀金属层(2)与附着力槽结合固定,所述电镀金属层(2)包括电镀金层(21),所述电镀金属层(2)的厚度设置为3μm‑5μm,所述蚀刻加强金属层(3)的厚度设置为5μm‑10μm。
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