[实用新型]一种用于旋涂机的旋涂盘有效
| 申请号： | 201621085287.3 | 申请日： | 2016-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN206104277U | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 罗姣莲 | 申请（专利权）人： | 贵州民族大学 |
| 主分类号： | B05C11/08 | 分类号： | B05C11/08;B05C13/02;B05C11/10 |
| 代理公司： | 贵阳中新专利商标事务所52100 | 代理人： | 李龙,程新敏 |
| 地址： | 550025*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于旋涂机的旋涂盘，包括旋涂盘本体，旋涂盘本体上端面的中部开设有凹槽，凹槽相对的两个槽边相互平行，旋涂盘本体上端面的中心处还开设有圆形槽，圆形槽的直径为1.5‑2cm，圆形槽开设于凹槽内，圆形槽的底部还开设有贯通旋涂盘本体的抽真空孔。以解决现有旋涂盘的基材固定方式不合理，基材旋涂不充分的问题。本实用新型属于材料表面涂覆设备领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 旋涂机 旋涂盘 | ||
【主权项】：
一种用于旋涂机的旋涂盘，包括旋涂盘本体(1)，其特征在于：旋涂盘本体(1)上端面的中部开设有凹槽(11)，凹槽(11)相对的两个槽边相互平行，旋涂盘本体(1)上端面的中心处还开设有圆形槽(12)，圆形槽(12)的直径为1.5‑2cm，圆形槽(12)开设于凹槽(11)内，圆形槽(12)的底部还开设有贯通旋涂盘本体(1)的抽真空孔(13)。
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