[实用新型]一种多晶硅片用组合夹具

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅片用组合夹具，包括一主支架，所述主支架四边分别垂直的安装有四副支架；四伸缩杆，四所述伸缩杆分别安装在四所述副支架上，所述伸缩杆一端安装有调节螺母；四固定块，四所述固定块分别安装在四所述伸缩杆的顶端，所述固定块与所述伸缩杆之间安装旋转装置，所述固定块顶端设有橡胶层；八回位弹簧，八所述回位弹簧分别与每个所述固定块的两侧与该所述固定块所连接的所述伸缩杆的两侧相连接。通过上述方式，本实用新型一种多晶硅片用组合夹具，该夹具结构简单，采用组合结构，不仅可以对多晶硅片进行很好的夹持，而且便于修理。

主权项

一种多晶硅片用组合夹具，其特征在于，包括：一主支架，所述主支架四边分别垂直的安装有四个副支架；四个伸缩杆，四个所述伸缩杆分别安装在四个所述副支架上，所述伸缩杆一端安装有调节螺母；四个固定块，四个所述固定块分别安装在四个所述伸缩杆的顶端，所述固定块与所述伸缩杆之间安装旋转装置，所述固定块顶端设有橡胶层；八个回位弹簧，八个所述回位弹簧分别与每个所述固定块的两侧与该所述固定块所连接的所述伸缩杆的两侧相连接。