[实用新型]一种用于刻蚀机的鼓泡装置有效
| 申请号： | 201621092967.8 | 申请日： | 2016-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN206143063U | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 孙红帅;葛亮;高裕弟;孙剑 | 申请（专利权）人： | 九江维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250 | 代理人： | 张建纲 |
| 地址： | 332020 江西省九江市共青城市*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于刻蚀机的鼓泡装置，涉及刻蚀技术领域，该装置包括设置于刻蚀机的刻蚀槽底的第一鼓泡管和与第一鼓泡管连接的气体存储容器，第一鼓泡管的侧壁上开设有至少一个第一鼓泡口，气体存储容器内存储的气体进入第一鼓泡管后从第一鼓泡口进入刻蚀槽内。该装置可以适用于OLED玻璃面板的减薄刻蚀，通过在刻蚀槽底设置带有第一鼓泡口的第一鼓泡管将气体通入刻蚀槽内，利用气体在刻蚀槽内的流动带动刻蚀液的流动，从而使得刻蚀液内的成分更加均匀，进而使得OLED面板的均匀性更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 刻蚀 装置 | ||
【主权项】：
一种用于刻蚀机的鼓泡装置，其特征在于，包括：设置于刻蚀机的刻蚀槽底的第一鼓泡管(1)和与所述第一鼓泡管(1)连接的气体存储容器(3)，所述第一鼓泡管(1)的侧壁上开设有至少一个第一鼓泡口(11)，所述气体存储容器(3)内存储的气体进入所述第一鼓泡管(1)后从所述第一鼓泡口(11)进入刻蚀槽内。
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