[实用新型]多用光学真空腔体

摘要

本实用新型公开了一种多用光学真空腔体，包括真空腔体本体、腔室门和法兰视窗，真空腔体本体内部形成真空腔室，法兰视窗位于真空腔体本体的侧壁内，法兰视窗厚度上向内延及至真空腔室，向外超出真空腔体本体的侧壁，法兰视窗内配备设有钢化玻璃，位于法兰视窗上方的真空腔体本体的侧壁内设有铅玻璃，法兰视窗上设有允许铅玻璃插放的槽，超出真空腔体本体的侧壁的法兰视窗上还对应设置和铅玻璃一端固定连接的扳把；与腔室门相连的真空腔体本体部分的侧壁上设有铝板安装槽。本实用新型可用于普通光学镀膜及电子枪镀膜，通过插装铝板及增加法兰视窗处的铅玻璃即可实现；还能避免腔室内壁被镀膜；并且能配合将镀膜过程分成预镀膜和正式镀膜。

主权项

多用光学真空腔体，其特征在于，包括真空腔体本体、腔室门和法兰视窗，真空腔体本体内部形成真空腔室，所述腔室门和法兰视窗在真空腔体本体上相对设置，腔室门通过合页连接在真空腔体本体上，所述法兰视窗位于真空腔体本体的侧壁内，法兰视窗厚度上向内延及至真空腔室，向外超出真空腔体本体的侧壁，法兰视窗内配备设有钢化玻璃，位于法兰视窗上方的真空腔体本体的侧壁内设有铅玻璃，法兰视窗上设有允许铅玻璃插放的槽，超出真空腔体本体的侧壁的法兰视窗上还对应设置和铅玻璃一端固定连接的扳把，扳把的中间部位通过销轴可转动地与法兰视窗连接，扳把的另一端伸出法兰视窗；与腔室门相连的真空腔体本体部分的侧壁上设有铝板安装槽。