[实用新型]一种自动点火的微波等离子作用腔有效
申请号: | 201621095087.6 | 申请日: | 2016-09-29 |
公开(公告)号: | CN206207476U | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 刘友春;杨琦;施亚玲;康新蕾;郑雷 | 申请(专利权)人: | 南京三乐微波技术发展有限公司;南京三乐电子信息产业集团有限公司 |
主分类号: | F23Q7/00 | 分类号: | F23Q7/00;F23Q7/22 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人: | 杨海军 |
地址: | 210044 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种自动点火的微波等离子作用腔,它包括激励腔组合(1),分别与激励腔组合(1)相连的上水冷套组合(2)和下水冷套组合(4),固定在上水冷套组合(2)及下水冷套组合(4)中间的石英玻璃(3),与下水冷套组合(4)连接的进气组合(5)和与激励腔组合(1)相连的自动点火装置(6)。本实用新型可替代传统的手动点火的微波等离子作用腔,利用自动点火装置(6)安全可靠的实现微波等离子体点火;通过上水冷套组合(2)以及下水冷套组合(4)对石英玻璃(3)的固定作用,使石英玻璃(3)不受激励腔组合(1)摆放位置影响,维持平衡。本实用新型结构设计合理,无微波泄漏,性能稳定,适应性更强。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动 点火 微波 等离子 作用 | ||
【主权项】:
一种自动点火的微波等离子作用腔,其特征在于,它包括激励腔组合(1),分别与激励腔组合(1)相连的上水冷套组合(2)和下水冷套组合(4),固定在上水冷套组合(2)及下水冷套组合(4)中间的石英玻璃(3),与下水冷套组合(4)连接的进气组合(5)和与激励腔组合(1)相连的自动点火装置(6)。
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