[实用新型]一种利用雾化法对扩散源进行涂布的装置有效
| 申请号： | 201621095703.8 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN206139417U | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 胡文涛;许颖;麦耀华;卢川;董国义 | 申请（专利权）人： | 河北大学 |
| 主分类号： | B05B17/06 | 分类号： | B05B17/06;B05B7/32;B05B13/02;B05B12/00;H01L31/18;H01L21/228 |
| 代理公司： | 石家庄国域专利商标事务所有限公司13112 | 代理人： | 胡素梅,胡澎 |
| 地址： | 071002 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种利用雾化法对扩散源进行涂布的装置。其结构包括溶液杯、雾化器、雾化气体导管和雾化气体缓冲器；所述溶液杯置于所述雾化器内，所述溶液杯用于盛放扩散源溶液，所述雾化器可将溶液杯内的扩散源溶液进行雾化；所述雾化气体导管连接所述雾化器和所述雾化气体缓冲器，扩散源溶液被雾化后所形成的雾化气体可沿雾化气体导管进入雾化气体缓冲器内。雾化气体缓冲器能够缓和雾化气体的喷出速度，因此通过雾化气体缓冲器后的雾化气体再涂布于硅片上，能够保证涂布的均匀性，从而解决了现有喷涂均匀性差的问题，还解决了传统管式扩散工艺复杂、连续性差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 雾化 扩散 进行 装置 | ||
【主权项】：
一种利用雾化法对扩散源进行涂布的装置，其特征是，包括溶液杯、雾化器、雾化气体导管和雾化气体缓冲器；所述溶液杯置于所述雾化器内，所述溶液杯用于盛放扩散源溶液，所述雾化器可将溶液杯内的扩散源溶液进行雾化；所述雾化气体导管连接所述雾化器和所述雾化气体缓冲器，扩散源溶液被雾化后所形成的雾化气体可沿雾化气体导管进入雾化气体缓冲器内，由雾化气体缓冲器出来的雾化气体可涂布在硅片上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河北大学，未经河北大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201621095703.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于自动售货机发光货道隔板的喷塑装置
- 下一篇：一种水能风车
