[实用新型]投影MEMS设备、投影MEMS系统、便携式电子设备和便携式电子装置

摘要

投影MEMS设备、投影MEMS系统、便携式电子设备和便携式电子装置。该投影MEMS设备包括固定支撑结构(17)，其至少部分地由半导体材料制成；和若干个投影模块(M1，M2，M3)。每个投影模块包括光源(2)，该光源固定于固定支撑结构(17)；和微机电致动器(19，36，37)，该微机电致动器包括移动结构(19)并且改变移动结构相对于固定支撑结构(17)的位置。每个投影模块还包括初始光纤(20)，该初始光纤根据移动结构(19)的位置机械地耦合至移动结构(19)并且光学地耦合至光源(2)。

主权项

一种投影MEMS设备，其特征在于，包括：‑固定支撑结构(17)，至少部分地由半导体材料制成；以及‑若干个投影模块(M1，M2，M3)，每个投影模块包括：‑光源(2)，固定到所述固定支撑结构(17)；‑微机电致动器(19，36，37)，包括移动结构(19)，所述微机电致动器被配置成改变所述移动结构相对于所述固定支撑结构(17)的位置；以及‑初始光纤(20)，机械地耦合至所述移动结构(19)并且被配置成根据所述移动结构(19)的所述位置光学地耦合至所述光源(2)。