[实用新型]扫描系统有效
申请号: | 201621106492.3 | 申请日: | 2016-10-09 |
公开(公告)号: | CN206470535U | 公开(公告)日: | 2017-09-05 |
发明(设计)人: | W.多伊彻 | 申请(专利权)人: | 激光影像系统有限责任公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人: | 陈钘 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种扫描系统,用于扫描写入光束且由此写入图案到印刷电路板表面上,该扫描系统包括台,用于安装要被处理的印刷电路板;光学器材,用于将写入光束引导到印刷电路板表面上;以及工作底部,用于支撑所述光学器材和台,其中工作底部由多个气动阻尼器支撑,用于将扫描系统与外部振动隔离。 | ||
搜索关键词: | 扫描 系统 | ||
【主权项】:
一种扫描系统,用于扫描写入光束且由此写入图案到印刷电路板表面上,其特征在于,该扫描系统包括:台,用于安装要被处理的印刷电路板;光学器材,用于将写入光束引导到印刷电路板表面上;以及工作底部(92),用于支撑所述光学器材和台,其中工作底部由多个气动阻尼器(610)支撑,用于将扫描系统与外部振动隔离。
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