[实用新型]一种一维激光扫描测头装置

摘要

本实用新型涉及一种一维激光扫描测头装置，包括用于发射第一激光束的第一激光源，用于将第一激光束反射至测球的激光反射平面，并将测球的激光反射平面反射的激光束透射至第一光电探测器的分光镜，处理器根据第一光电探测器所接收到的激光束的位置变化值，得到测杆的变形量，同时包括用于测量测量基座一维位移变化的测量组件，所述测量组件包括第二激光源和第二光电探测器。本实用新型实施例提供的一维激光扫描测头装置，不仅可以测量支撑座的直接位移变化，还可以测量测杆的变形，因此与传统的一维测头装置相比，本实用新型实施例提供的一维激光扫描测头装置的测量精度更高，且结构简单，易于批量生产。

主权项

一种一维激光扫描测头装置，包括用于测量测杆一维位移变化的测量组件，所述测量组件包括所述测杆和测球，其特征在于，所述测杆为空心测杆，所述测球设置于所述空心测杆的一端，且所述测球与所述空心测杆连接的球面设置有激光反射平面，所述测球的激光反射平面位于所述空心测杆的内部；所述一维激光扫描测头装置还包括：第一激光源，用于发射第一激光束；分光镜，倾斜设置于所述空心测杆的另一端，用于将所述第一激光源发射的第一激光束反射至所述测球的激光反射平面，并将所述测球的激光反射平面反射的激光束透射至第一光电探测器；所述第一光电探测器，用于接收经所述分光镜透射的所述测球的激光反射平面反射的激光束；处理器，用于根据所述第一光电探测器所接收到的激光束的位置变化值，得到所述空心测杆的变形量。