[实用新型]镀膜机及其可自动更换挡板的蒸发源及辅助源遮挡装置有效
| 申请号： | 201621110579.8 | 申请日： | 2016-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN206089791U | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 刘亮 | 申请（专利权）人： | 布勒莱宝光学设备（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司11514 | 代理人： | 李向英 |
| 地址： | 101102 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀膜机及其可自动更换挡板的蒸发源及辅助源遮挡装置后者包括具有挡板容置槽的支架、放置于所述挡板容置槽中的挡板，和取片机构；其中，所述支架通过旋转驱动结构安装于真空室底板，并在所述旋转驱动结构的作用下向靠近或者远离所述取片机构的方向水平摆动；所述取片机构在高度方向上可伸缩地安装于所述真空室底板，且所述取片机构处于至高位置且与所述支架处于至近位置时，所述挡板在所述取片机构的作用下脱离所述支架。这样，该蒸发源及辅助源遮挡装置能够在镀膜过程中，实现挡板的在线更换，避免了挡板上发生膜层过度累积，从而避免了挡板膜层脱落污染蒸发源，保证了镀膜层的纯度和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 及其 自动 更换 挡板 蒸发 辅助 遮挡 装置 | ||
【主权项】：
一种可自动更换挡板的蒸发源及辅助源遮挡装置，用于镀膜机，其特征在于，包括具有挡板容置槽的支架、放置于所述挡板容置槽中的挡板，和取片机构；所述支架通过旋转驱动结构安装于真空室底板，并在所述驱动结构的作用下向靠近或者远离所述取片机构的方向运动；所述取片机构在高度方向上可伸缩地安装于所述真空室底板，且所述取片机构处于至高位置且与所述支架处于至近位置时，所述挡板在所述取片机构的作用下脱离所述支架。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于布勒莱宝光学设备（北京）有限公司，未经布勒莱宝光学设备（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201621110579.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：真空炉主机、真空渗碳炉
- 下一篇：塑料镀膜生产设备
- 同类专利
- 专利分类
