[实用新型]一种带电粒子束系统及光电联合探测系统有效
| 申请号： | 201621115200.2 | 申请日： | 2016-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN206330894U | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 何伟;李帅;王鹏 | 申请（专利权）人： | 聚束科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/64;G01N21/65;G01N23/225 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司11270 | 代理人： | 张颖玲,李梅香 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带电粒子束系统，所述系统包括粒子源、镜筒和设置有第一真空窗的样品室；其中，所述粒子源，用于产生带电粒子束，所述带电粒子束用于照射所述样品室放置的待测样品；所述镜筒包括用于对所述带电粒子束进行偏转的偏转装置和用于对所述带电粒子束进行聚焦的聚焦装置；所述带电粒子束系统能够兼容外部的多种光学系统对样品进行同步探测或快速切换探测。本实用新型还公开了一种光电联合探测系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带电 粒子束 系统 光电 联合 探测 | ||
【主权项】：
一种带电粒子束系统，其特征在于，所述系统包括：粒子源、镜筒和设置有第一真空窗的样品室；其中，所述粒子源，用于产生带电粒子束，所述带电粒子束用于照射所述样品室放置的待测样品；所述镜筒包括：用于对所述带电粒子束进行偏转的偏转装置和用于对所述带电粒子束进行聚焦的聚焦装置。
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