[实用新型]激光能量稳定装置

摘要

本实用新型属于激光能量控制领域，特别涉及激光能量稳定装置。激光能量稳定装置包括用于输出脉冲激光的脉冲激光器，分光单元，衰减单元，功率探测单元和负反馈控制单元。本实用新型通过脉冲激光器输出脉冲激光，所述脉冲激光经分光单元分为第一束脉冲激光和第二束脉冲激光，其中第一束脉冲激光传播到衰减单元，第二束脉冲激光入射到功率探测单元，功率探测单元探测第二束脉冲激光的功率以得出光功率值，负反馈控制单元根据功率探测单元测量的光功率值计算并控制衰减单元对第一束脉冲激光的衰减率，从而实现脉冲激光能量稳定。

主权项

激光能量稳定装置，其特征在于，包括：脉冲激光器，用于输出脉冲激光；分光单元，用于将所述脉冲激光分为第一束脉冲激光和第二束脉冲激光；衰减单元，用于接收所述第一束脉冲激光，并对所述第一束脉冲激光的光功率进行衰减；功率探测单元，用于接收所述第二束脉冲激光，并对所述第二束脉冲激光的功率进行测量以得出光功率值；负反馈控制单元，根据所述功率探测单元测量的光功率值，利用控制算法控制所述衰减单元对所述第一束脉冲激光的衰减率，以使经过所述衰减单元的所述第一束脉冲激光的输出能量稳定。