[实用新型]硅烷尾气中硅烷含量的测定装置

摘要

本实用新型公开了硅烷尾气中硅烷含量的测定装置，其包括氢气钢瓶(1)、氢气钢瓶减压阀(2)、样品钢瓶进气阀(3)、样品钢瓶(4)、样品钢瓶排气阀(5)、硅烷标准气体钢瓶(6)、硅烷标准气体钢瓶减压阀(7)、碱液吸收桶(8)、针型阀(9)、稳压阀(10)、辅助EPC(11)、六通阀(12)、定量管(13)、色谱柱(14)和TCD检测器(15)。本实用新型的优点1、采用填充多空微球的色谱柱进行硅烷组分与氢气的分离，分离效果好；2、氢气用作吹扫气，充分吹扫进样系统，防止硅烷尾气在进样系统中遇空气发生分解，堵塞六通阀(12)、定量管(13)等。

主权项

硅烷尾气中硅烷含量的测定装置，其特征在于，其包括氢气钢瓶(1)、氢气钢瓶减压阀(2)、样品钢瓶进气阀(3)、样品钢瓶(4)、样品钢瓶排气阀(5)、硅烷标准气体钢瓶(6)、硅烷标准气体钢瓶减压阀(7)、碱液吸收桶(8)、针型阀(9)、稳压阀(10)、辅助EPC(11)、六通阀(12)、定量管(13)、色谱柱(14)和TCD检测器(15)；样品钢瓶(4)的进口处设有样品钢瓶进气阀(3)，样品钢瓶(4)的出口处设有样品钢瓶排气阀(5)；氢气钢瓶(1)的出口与氢气钢瓶减压阀(2)的进口通过管道连接，氢气钢瓶减压阀(2)的出口与稳压阀(10)的进口通过管道连接，稳压阀(10)的出口与辅助EPC(11)的进口通过管道连接，辅助EPC(11)的出口与六通阀(12)的载气入口通过管道连接，六通阀(12)的载气出口与色谱柱(14)的进口通过管道连接，色谱柱(14)的出口与TCD检测器(15)的进口通过管道连接；硅烷标准气体钢瓶(6)的出口与硅烷标准气体钢瓶减压阀(7)进口通过管道连接，硅烷标准气体钢瓶减压阀(7)的出口分别与针型阀(9)的出口和六通阀(12)的样品进口通过管道连接；或者，样品钢瓶排气阀(5)的出口分别与针型阀(9)的出口和六通阀(12)的样品进口通过管道连接；针型阀(9)的进口与稳压阀(10)的进口通过管道连接，六通阀(12)的样品出口与碱液吸收桶(8)的进口通过管道连接，定量管(13)的进口与六通阀(12)的出口通过管道连接，定量管(13)的出口与六通阀(12)的进口通过管道连接。