[实用新型]硅烷尾气取样装置

摘要

本实用新型公开了硅烷尾气取样装置，其包括尾气取样管道(1)、硅烷尾气出口针型阀(2)、氢气管道针型阀(3)、样品钢瓶进气阀(4)、样品钢瓶排气阀(5)、旁路针型阀(6)、氢气管道(7)、样品钢瓶(8)和碱液吸收桶(9)。本实用新型的优点硅烷尾气取样装置充分考虑硅烷尾气特点，针对硅烷气体遇空气燃烧、分解的性质，在装置设计时增加一路氢气作为吹扫气体，用于取样前后取样管路置换，避免了尾气中硅烷遇空气燃烧，保证安全取样；本实用新型结构简单、操作方便、制造成本低。

主权项

硅烷尾气取样装置，其特征在于，其包括尾气取样管道(1)、硅烷尾气出口针型阀(2)、氢气管道针型阀(3)、样品钢瓶进气阀(4)、样品钢瓶排气阀(5)、旁路针型阀(6)、氢气管道(7)、样品钢瓶(8)和碱液吸收桶(9)；尾气取样管道(1)的出口与硅烷尾气出口针型阀(2)的进口连接，硅烷尾气出口针型阀(2)的出口分别与氢气管道针型阀(3)的出口、样品钢瓶进气阀(4)的进口和旁路针型阀(6)的进口通过管道连接，氢气管道针型阀(3)的进口与氢气管道(7)的出口通过管道连接，样品钢瓶进气阀(4)的出口与样品钢瓶(8)的进口通过管道连接，样品钢瓶(8)的出口与样品钢瓶排气阀(5)的进口连接，样品钢瓶排气阀(5)的出口与碱液吸收桶(9)的进口通过管道连接，旁路针型阀(6)的出口与碱液吸收桶(9)的进口通过管道连接。