[实用新型]真空箱氦检漏系统有效

专利信息
申请号: 201621125595.4 申请日: 2016-10-14
公开(公告)号: CN206281618U 公开(公告)日: 2017-06-27
发明(设计)人: 刘勇 申请(专利权)人: 安徽博为光电科技有限公司
主分类号: G01M3/20 分类号: G01M3/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 230000 安徽省合肥市高*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开一种真空箱氦检漏系统;解决的技术问题针对背景技术中提及的现有真空箱氦检漏系统存在的问题。采用的技术方案一种真空箱氦检漏系统,包括真空箱、泵组、氦质谱检漏仪和工件输送工作台。优点,该检漏系统安全、高效、高灵敏度、自动化程度高。
搜索关键词: 空箱 检漏 系统
【主权项】:
一种真空箱氦检漏系统,其特征在于,包括真空箱、泵组、氦质谱检漏仪和工件输送工作台;工件输送工作台设置在地面上,真空箱通过支架设置在地面上且架设在工件输送工作台上方,位于真空箱下方的工件输送工作台为工件待检漏工位,此工位上设置一个用于承载待检漏工件的底盘,底盘的下方设置一个用于将待检漏工件提升至真空箱内的提升气缸,提升气缸的活塞杆连接底盘;工件输送工作台的台面上设置不少于一条的用于传送待检漏工件的滑轨;在工件待检漏工位处设置一个用于将检漏完成后的工件推出的推出气缸,推出气缸的活塞杆连接一个推杆,推杆的形状匹配待检漏工件设计;泵组和氦质谱检漏仪均设置在地面上,泵组通过管道连接真空箱,氦质谱检漏仪也通过管道连接真空箱。
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