[实用新型]狭缝喷嘴的喷嘴间隙测量装置有效
| 申请号： | 201621125888.2 | 申请日： | 2016-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN206618391U | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 赵康一 | 申请（专利权）人： | K.C.科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/14 | 分类号： | G01B11/14;G01B7/14 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人： | 孙昌浩,李盛泉 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型的目的在于公开一种如下的狭缝喷嘴的喷嘴间隙测量装置，在排出口的端部凝结有药液的情况下，也能够确认喷嘴间隙的变化量并调节喷嘴间隙。为此，本实用新型的狭缝喷嘴的喷嘴间隙测量装置为形成有用于在被处理基板的表面涂覆药液的排出口的狭缝喷嘴的喷嘴间隙测量装置，其中包括喷嘴间隙调节单元，用于调节所述排出口的喷嘴间隙(gap)；喷嘴间隙测量单元，用于测量被所述喷嘴间隙调节单元调节的所述喷嘴间隙的变化量。 | ||
| 搜索关键词： | 狭缝 喷嘴 间隙 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种狭缝喷嘴的喷嘴间隙测量装置，形成有用于在被处理基板的表面涂覆药液的排出口，其特征在于，包括：喷嘴间隙调节单元，用于调节所述排出口的喷嘴间隙；喷嘴间隙测量单元，用于测量被所述喷嘴间隙调节单元调节的所述喷嘴间隙的变化量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于K.C.科技股份有限公司，未经K.C.科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201621125888.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于物联网的净水器净水效果检测系统
- 下一篇：一种可扫除盲区的汽车后视镜
