[实用新型]一种多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉，包括上炉体、下炉体和坩埚，所述上炉体下端设有下炉体，所述上炉体和下炉体内部设有坩埚，所述坩埚两侧设有坩埚护板，所述坩埚下方设有坩埚底板，所述坩埚上方设有顶部加热器，所述顶部加热器上方设有石墨电极，所述石墨电极上方设有顶部保温板，所述顶部保温板上端设有顶加厚保温层，所述顶部保温板内部设有铜电极，所述顶部保温板下两端均设有内侧保温板，所述内侧保温板一侧设有外侧保温板，所述外侧保温板另一侧设有侧加厚保温层。本实用新型通过节省了炉体热场成本、人力成本及熔化阶段的能原消耗，降低生产成本，能够节省半熔工艺的熔化、长晶及冷却时间，节省时间成本。

主权项

一种多晶硅铸锭炉，包括上炉体（1）、下炉体（12）和坩埚（5），其特征在于：所述上炉体（1）下端设有下炉体（12），所述所述上炉体（1）和下炉体（12）内部设有坩埚（5），所述坩埚（5）两侧设有坩埚护板（6），所述坩埚（5）下方设有坩埚底板（9），所述坩埚（5）上方设有顶部加热器（4），所述顶部加热器（4）上方设有石墨电极（3），所述石墨电极（3）上方设有顶部保温板（14），所述顶部保温板（14）上端设有顶加厚保温层（13），所述顶部保温板（14）内部设有铜电极（2），所述顶部保温板（14）下两端均设有内侧保温板（7），所述内侧保温板（7）一侧设有外侧保温板（8），所述外侧保温板（8）另一侧设有侧加厚保温层（15），所述坩埚底板（9）下方设有上底部保温板（10），所述上底部保温板（10）下端设有下底部保温板（11）。