[实用新型]光学元件磨削加工面形误差和平行度误差的控制装置有效
| 申请号： | 201621129442.7 | 申请日： | 2016-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN206066091U | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 周炼;张剑锋;陈贤华;张清华;刘民才;赵世杰;谢瑞清;王健 | 申请（专利权）人： | 成都精密光学工程研究中心 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B13/00;B24B13/005;B24B49/00 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司51226 | 代理人： | 蒲敏 |
| 地址： | 610041 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种大口径薄板光学元件磨削加工面形误差和平行度误差控制装置。光学元件磨削加工面形误差和平行度误差的控制装置，包括真空吸盘，所述真空吸盘上表面设置有均布的竖直向下的竖向吸附孔，且所述真空吸盘在横向和纵向设置有均布的横向通孔和纵向通孔，所述纵向通孔与竖向吸附孔和横向通孔连通并形成真空气路。本实用新型的真空吸盘提高薄板元件表面每一点的支承刚度，减少加工过程中让刀变形，并且结合面形误差在位测量技术和补偿磨削技术，实现了薄板元件面形误差和平行度误差的确定性与稳定性收敛，实现了面形误差和平行度误差的高效稳定控制。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 磨削 加工 误差 平行 控制 装置 | ||
【主权项】：
光学元件磨削加工面形误差和平行度误差的控制装置，其特征在于，包括真空吸盘(3)，所述真空吸盘(3)上表面设置有均布的竖直向下的竖向吸附孔(2)，且所述真空吸盘(3)在横向和纵向设置有均布的横向通孔(4)和纵向通孔(5)，所述纵向通孔(5)与竖向吸附孔(2)和横向通孔(4)连通并形成真空气路。
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