[实用新型]一种含氟气体洗涤装置

摘要

本实用新型公开了一种含氟气体洗涤装置，包括反应室，反应室的下底部设有积液室，积液室的左侧与吸液泵A的进液端连接，吸液泵A的出液端与吸液管A连接，吸液管A的上端部设有喷淋装置，积液室的右侧与吸液泵B的进液端连接，吸液泵B的出液端与吸液管B连接，吸液管B的末端与集液槽连接，集液槽通过回流管与积液室连通，集液槽与吸液泵B之间的吸液管B上还设置有冷却装置。该含氟气体洗涤装置能较快的使吸收液温度降低，吸收四氟化硅气体充分，减少有害气体直接排放至空气中造成环境污染，该装置所使用的网板和滤网能更好的过滤吸收液，有利于吸收液的循环使用。洗涤装置简单，易于操作。

主权项

一种含氟气体洗涤装置，其特征在于：包括反应室（1），反应室（1）的下底部设有积液室（2），积液室（2）的左侧与吸液泵A（4）的进液端连接，吸液泵A（4）的出液端与吸液管A（5）连接，吸液管A（5）的上端部设有喷淋装置（6），积液室（2）的右侧与吸液泵B（7）的进液端连接，吸液泵B（7）的出液端与吸液管B（8）连接，吸液管B（8）的末端与集液槽（3）连接，集液槽（3）通过回流管（12）与积液室（2）连通，集液槽（3）与吸液泵B（7）之间的吸液管B（8）上还设置有冷却装置（9）。