[实用新型]一种新型超薄同轴光源探测系统

摘要

一种新型超薄同轴光源探测系统，包括光源、准直系统、探测器、镜头、待测物体及半透半反镜组，所述半透半反镜组位于探测镜组与待测物体之间，所述半透半反镜组包括第一棱镜和第二棱镜，其中两棱镜相互贴合的表面上镀有半透半反膜，光源发出的平行光束一部分经由镜组的折射与反射折转90°后正入射待测物体，由待测物体反射的携带有物体表面信息的光再次到达半透半反镜组，其中的一部分透射进入上方镜头中，完成对物体表面的测量，本申请可以在保证探测物体尺寸L不缩小的情况下，降低同轴光源平行光管的高度H，从而使得仪器整体体积减小，同时使得待测物体与探测镜头之间的距离减小，使得较短焦距的镜头也可以对待测物体清晰成像和精确测量。

主权项

一种新型超薄同轴光源探测系统，包括：光源、准直系统、镜头、探测器、待测物体以及半透半反镜组，所述半透半反镜组位于探测器与待测物体之间，其特征在于：所述半透半反镜组包括第一棱镜和第二棱镜，其中两棱镜相互贴合，在贴合表面上镀有半透半反膜，所述光源发出的经准直系统准直的平行准直光束以一角度θ入射该半透半反镜组，一部分光经由镜组的折射与反射折转90°后正入射待测物体，由待测物体反射的携带有物体表面信息的光再次到达半透半反镜组，其中的一部分透射进入上方的镜头中，完成对物体表面的测量。