[实用新型]具有保护晶圆的独立静电载具机构

摘要

一种具有保护晶圆的独立静电载具机构，用于承载一晶圆，该具有保护晶圆的独立静电载具机构为一独立运载的机构，不与其他机构作固定式的连接，仅用于静电连接晶圆；该晶圆上已制成多个芯片；该具有保护晶圆的独立静电载具机构包括一载板，用于承载位于其上方的该晶圆；至少一静电电路，配置于该载板上；各静电电路包括一感应电极对，其包括两个感应电极端分别由对应的静电电路的两端向下延伸而露出在该载板下方；该两个感应电极端用于连接外部的电压源的正极及负极，该电压源将感应该两个感应电极端而使得对应的静电电路内部的电路被感应而在该载板表面产生静电。

主权项

一种具有保护晶圆的独立静电载具机构，其特征在于，用于承载一晶圆，该具有保护晶圆的独立静电载具机构为一独立运载的机构，不与其他机构作固定式的连接，仅用于静电连接晶圆；其中该晶圆上已制成多个芯片；该具有保护晶圆的独立静电载具机构包括：一载板，用于承载位于其上方的该晶圆；至少一静电电路，配置于该载板上，用于产生静电；其中各静电电路包括一感应电极对，该感应电极对包括两个感应电极端，该两个该应电极端分别由对应的静电电路的两端向下延伸，各感应电极端贯穿该载板，而由该载板下方露出；其中各静电电路的该感应电极对的该两个感应电极端用于连接外部的电压源的正极及负极，该电压源将感应对应的感应电极对的该两个感应电极端而使得对应的静电电路内部的电路被感应而在该载板的表面产生静电；此一静电可以持续相当一段时间，所以当该晶圆接近时，该静电可以感应该晶圆，而在近端产生极性相反的电荷分布；通过此极性相反的电荷分布与原来的静电的吸引力，将该晶圆吸附在该载板上，该载板承载该晶圆。