[实用新型]非制冷焦平面红外探测器芯片真空封装结构有效
申请号: | 201621143436.7 | 申请日: | 2016-10-21 |
公开(公告)号: | CN206095436U | 公开(公告)日: | 2017-04-12 |
发明(设计)人: | 苏玉辉;太云见;冯江敏;信思树;普朝光;余瑞云;尹敏杰;余连杰 | 申请(专利权)人: | 云南北方昆物光电科技发展有限公司 |
主分类号: | G01J5/20 | 分类号: | G01J5/20;G01J5/04;G01J5/02;H01L23/26;H01L31/0203 |
代理公司: | 昆明祥和知识产权代理有限公司53114 | 代理人: | 和琳 |
地址: | 650000 云南*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 非制冷焦平面红外探测器芯片真空封装结构,涉及红外探测器封装技术,尤其涉及非制冷焦平面红外探测器芯片真空封装结构,其特征在于该封装结构包括壳体、薄膜吸气剂、红外探测器芯片和光学窗口,壳体与光学窗口组成一个真空密闭腔体,红外探测器芯片通过贴片方式贴在壳体内部底部,红外探测器芯片及光学窗口的外围均设有电极,薄膜吸气剂生长在光学窗口上。本实用新型的非制冷焦平面红外探测器芯片真空封装结构,采用陶瓷封装技术,采用的薄膜吸气剂有效地减少了器件体积,所有组装均采用焊料片,减少了组件内部的放气因素影响,提高可靠性,降低成本,组件在封装过程中就完成了排气,缩短了排气周期,提高了生产效率,且制造过程简单。 | ||
搜索关键词: | 制冷 平面 红外探测器 芯片 真空 封装 结构 | ||
【主权项】:
非制冷焦平面红外探测器芯片真空封装结构,其特征在于该封装结构包括壳体(1)、薄膜吸气剂(2)、红外探测器芯片(3)和光学窗口(4),壳体(1)与光学窗口(4)组成一个真空密闭腔体,红外探测器芯片(3)通过贴片方式贴在壳体(1)内部底部,红外探测器芯片(3)及光学窗口(4)的外围均设有电极(6),薄膜吸气剂(2)生长在光学窗口(4)上。
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