[实用新型]射频阻抗自动匹配装置有效
| 申请号： | 201621144624.1 | 申请日： | 2016-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN206193516U | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 王佳;许开东;陈璐 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/07 | 分类号： | G05B19/07 |
| 代理公司： | 北京得信知识产权代理有限公司11511 | 代理人： | 袁伟东 |
| 地址： | 221300 江苏省徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种射频阻抗自动匹配装置包括，第一可调电容器、第二可调电容器、第一可调电容器位置信号变送器、第二可调电容器位置信号变送器、单片机、第一可调电容器驱动机构、第二可调电容器驱动机构和偏压计，其中，第一、第二可调电容器的输出端分别与第一、第二可调电容器位置信号变送器的输入端连接，第一、第二可调电容位置信号变送器的输出端分别与单片机的输入端连接，单片机的输出端分别与第一、第二可调电容器驱动机构的输入端连接，第一、第二可调电容器驱动机构的输出端分别与第一、第二可调电容器的输入端连接，偏压计的输入端与第一、第二可调电容器的输出端连接，偏压计的输出端与所述单片机的输入端连接。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 阻抗 自动 匹配 装置 | ||
【主权项】：
一种射频阻抗自动匹配装置，其特征在于，包括：第一可调电容器、第二可调电容器、第一可调电容器位置信号变送器、第二可调电容器位置信号变送器、单片机、第一可调电容器驱动机构、第二可调电容器驱动机构和偏压计，其中，所述第一、第二可调电容器的输出端分别与所述第一、第二可调电容器位置信号变送器的输入端连接，所述第一、第二可调电容位置信号变送器的输出端分别与所述单片机的输入端连接，所述单片机的输出端分别与所述第一、第二可调电容器驱动机构的输入端连接，所述第一、第二可调电容器驱动机构的输出端分别与所述第一、第二可调电容器的输入端连接，所述偏压计的输入端与所述第一、第二可调电容器的输出端连接，所述偏压计的输出端与所述单片机的输入端连接。
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