[实用新型]六氟化硫和氮气混合绝缘气体灌充装置

摘要

六氟化硫和氮气混合绝缘气体灌充装置，包括一个质量流量控制器、一个充灌气路、两个配气支路和两个抽真空管路，一个配气支路从进气端到出气端依次设有高纯六氟化硫气源、汽化器和第一减压阀，另一个配气支路从进气端到出气端依次设有高纯氮气气源和第二减压阀，充灌气路从进气端到出气端依次设有缓冲罐、压力平衡控制系统、电磁控制阀、气体压缩机、单向阀、缓冲瓶、压力传感器和快速接头。本实用新型把混合气体通过高精度质量流量控制器按照设定浓度进行混合，通过压力平衡控制装置的调整，气体压缩机进行气体增压灌充，也可以对浓度比例与设定比例偏差比较大的混合气体进行浓度比例修正，从而确保充气的浓度配比保证良好的绝缘性。

主权项

六氟化硫和氮气混合绝缘气体灌充装置，其特征在于：包括一个质量流量控制器、一个充灌气路和两个配气支路，一个配气支路从进气端到出气端依次设有高纯六氟化硫气源、汽化器和第一减压阀，另一个配气支路从进气端到出气端依次设有高纯氮气气源和第二减压阀，质量流量控制器具有两个进气口和一个出气口，两个配气支路的出气端分别对应与质量流量控制器的一个进气口连接，充灌气路的进气端与质量流量控制器的出气口连接，充灌气路从进气端到出气端依次设有缓冲罐、压力平衡控制系统、电磁控制阀、气体压缩机、单向阀、缓冲瓶、压力传感器和快速接头。