[实用新型]一种碳化硅晶体偏角度加工的定向夹具有效
| 申请号： | 201621147089.5 | 申请日： | 2016-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN206201239U | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 杨翠柏;陈丙振;方聪 | 申请（专利权）人： | 珠海鼎泰芯源晶体有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04;B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司11327 | 代理人： | 陈英俊,许向彤 |
| 地址： | 519085 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种碳化硅晶体偏角度加工的定向夹具，属于晶体加工装置领域。所述定向夹具包括旋转滑台，固定连接在切割工作台上，设置有旋转角度调整旋钮；水平角度调节器，安装于旋转滑台上表面，设置有水平角度调节旋钮；支撑架，设置有支撑架底座，支撑架底座固定连接在水平角度调节器上表面，且在支撑架底座上表面固定连接有直线滑轨；压紧块，固定连接在直线滑轨的滑块上表面，可跟随滑块滑动。本实用新型以偏0°的圆柱形晶棒为基础，通过调节水平角度调节器的角度，可斜切2°至4°偏角度衬底；通过调节旋转滑台相对于垂直面的角度，可斜切4°至8°偏角度衬底；且精度可达到±1′。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶体 偏角 加工 定向 夹具 | ||
【主权项】：
一种碳化硅晶体偏角度加工的定向夹具，其特征在于，包括：旋转滑台，固定连接在切割工作台上，设置有旋转角度调整旋钮，用于调节旋转滑台相对于垂直面的角度，实现斜切4°至8°偏角度衬底；水平角度调节器，安装于所述旋转滑台上表面，设置有水平角度调节旋钮，用于调节水平角度调节器的角度，实现斜切2°至4°偏角度衬底；支撑架，设置有支撑架底座，所述支撑架底座固定连接在水平角度调节器上表面，所述支撑架底座上表面固定连接有直线滑轨，所述直线滑轨包括配套安装的轨道和滑块；压紧块，固定连接在所述滑块上表面，可跟随所述滑块沿所述轨道滑动，用于与所述支撑架夹紧待切割的碳化硅晶棒。
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