[实用新型]一种硅片取片器

摘要

一种硅片取片器，包括呈交叉设置的X型活动支架，X型活动支架的连接处通过转轴连接，所述X型活动支架的一端安装有弹簧，另一端对向安装有半封闭腔，所述半封闭腔内安装有软垫，所述软垫与转轴之间的X型活动支架内端面对向安装有限位杆；本技术方案的有益效果在于通过设置X型支架组成夹持基本构架，通过在支架一端设置弹簧，防止支架上半封闭腔开口太大，防止出现硅片坠落；通过设置限位杆，防止半封闭腔开口太小，防止出现崩片；通过在半封闭腔内设置软垫，实现半封闭腔夹持住硅片时可能出现的崩片现象。

主权项

一种硅片取片器，其特征在于包括呈交叉设置的X型活动支架，X型活动支架的连接处通过转轴连接，所述X型活动支架的一端安装有弹簧，另一端对向安装有半封闭腔，所述半封闭腔内安装有软垫，所述软垫与转轴之间的X型活动支架内端面对向安装有限位杆。