[实用新型]一种工件台非正交校正装置有效
申请号: | 201621151082.0 | 申请日: | 2016-10-24 |
公开(公告)号: | CN206209289U | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 马琳琳;杨志勇;孙刚;朱健;朱树存 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 屈蘅,李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种工件台非正交校正装置,包括非正交测量标记,设置在工件台上用于承载基板的粗动旋转台上,所述非正交测量标记至少设有三个,且不在一条直线上;视觉单元,用于获得所述非正交测量标记的位置;干涉仪测量单元,用于测量所述工件台的位置;还包括校正单元,根据所述非正交测量标记在粗动旋转台坐标系下的名义位置、所述视觉单元获得的所述非正交测量标记的位置以及所述工件台的位置计算所述工件台的非正交量,并发送至所述干涉仪测量单元进行补偿校正。本实用新型有效解决了工件台面型在曝光过程中受热形变对TP控制精度的影响,从而降低材料的使用成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 工件 正交 校正 装置 | ||
【主权项】:
一种工件台非正交校正装置,其特征在于,包括:非正交测量标记,设置在工件台上用于承载基板的粗动旋转台上,所述非正交测量标记至少设有三个,且不在一条直线上;视觉单元,用于获得所述非正交测量标记的位置;干涉仪测量单元,用于测量所述工件台的位置;还包括校正单元,根据所述非正交测量标记在粗动旋转台坐标系下的名义位置、所述视觉单元获得的所述非正交测量标记的位置以及所述工件台的位置计算所述工件台的非正交量,并发送至所述干涉仪测量单元进行补偿校正。
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