[实用新型]液态硅生产装置有效
申请号: | 201621163120.4 | 申请日: | 2016-10-25 |
公开(公告)号: | CN206108909U | 公开(公告)日: | 2017-04-19 |
发明(设计)人: | 江宏富;蒋立民;马军;王荣跃;吕磊;周舟 | 申请(专利权)人: | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人: | 李晓,肖明芳 |
地址: | 221004 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种液态硅生产装置,该装置包括依次连接的等离子发生器、反应器、硅液承载器和尾气分离系统,在反应器内依次存在气体冷凝区、液滴形成区和液滴生长区。采用本实用新型的生产装置,能够直接得到高纯液态硅材料,操作工序简单,且允许液态硅材料直接输送到下游的铸锭工序、直拉单晶工序或者制备硅片等工序,能够极大降低多晶硅生产投资成本,保证生产装置稳定长周期运行,提高产量。 | ||
搜索关键词: | 液态 生产 装置 | ||
【主权项】:
一种液态硅生产装置,其特征在于,包括等离子发生器、反应器、硅液承载器和尾气分离设备,所述等离子发生器的出口与所述反应器的进口相接,所述反应器的出口与所述硅液承载器的入口相接,所述硅液承载器的尾气出口与所述尾气分离系统相接。
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