[实用新型]一种双背极MEMS发声装置及电子设备

摘要

本实用新型公开了一种双背极MEMS发声装置及电子设备，在衬底上通过沉积、刻蚀的方式依次设置有下背极、振膜、上背极，所述下背极、振膜、上背极之间通过绝缘层进行支撑；所述衬底上设置有与下背极对应设置的背腔；所述上背极、下背极被配置为分别持续施加相反电压的直流电信号，所述振膜被配置为施加交流电信号。本实用新型的发声装置，可以应用到受话器或者扬声器当中，其突破了传统线圈、磁铁的安装结构，使其体积更小，而且可以采用MEMS工艺进行制造。

主权项

一种双背极MEMS发声装置，其特征在于：包括衬底(3)，在所述衬底(3)上通过沉积、刻蚀的方式依次设置有下背极(4)、振膜(5)、上背极(6)，所述下背极(4)、振膜(5)、上背极(6)之间通过绝缘层进行支撑；所述衬底(3)上设置有与下背极(4)对应设置的背腔；所述上背极(6)、下背极(4)被配置为分别持续施加相反电压的直流电信号，所述振膜(5)被配置为施加交流电信号。