[实用新型]套准标记结构

摘要

本实用新型提供一种套准标记结构，为中心对称图形，包括第一测试标记和第二测试标记，第一测试标记包括一对与X轴平行的第一横向标记和一对与Y轴平行的第一纵向标记，第一横向标记和第一纵向标记均包括位于同一直线上且不相连接的第一部分和第二部分；第一横向标记的第一部分及第一纵向标记的第一部分适于前层图形层的对准，第一横向标记的第二部分及第一纵向标记的第二部分适于后层图形层的对准；第二测试标记位于第一测试标记围成的几何图形内，适于当前图形层的对准。本实用新型的套准标记结构能够直接模拟当前图形层与前后图形层的对准，减少一个量测站点，缩短了生产的周期，且尺寸与原套准标记相同，不占用更多的面积。

主权项

一种套准标记结构，适于对相邻的前后两图形层及位于所述前后两图形层之间的当前图形层进行对准，其特征在于，所述套准标记结构为中心对称图形，包括：第一测试标记，包括一对与X轴平行的第一横向标记和一对与Y轴平行的第一纵向标记，所述第一横向标记和所述第一纵向标记相互形成直角，互围成一几何图形；所述第一横向标记包括位于同一直线上且不相连接的第一部分和第二部分；所述第一纵向标记包括位于同一直线上且不相连接的第一部分和第二部分，其中，所述第一横向标记的第一部分与所述第一纵向标记的第一部分相邻，且相互形成直角，所述第一横向标记的第二部分与所述第一纵向标记的第二部分相邻，且相互形成直角；所述第一横向标记的第一部分及所述第一纵向标记的第一部分适于前层图形层的对准，所述第一横向标记的第二部分及所述第一纵向标记的第二部分适于后层图形层的对准；第二测试标记，位于所述第一测试标记围成的几何图形内，包括一对与X轴平行的第二横向标记和一对与Y轴平行的第二纵向标记，所述第二横向标记与所述第二纵向标记相互形成直角，互围成一几何图形；所述第二测试标记适于所述当前图形层的对准。