[实用新型]用于半导体制造车间火灾烟尘扩散抑制的气流系统有效
| 申请号： | 201621167917.1 | 申请日： | 2016-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN206176649U | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 崔云龙;易涵潇;宋国祥;吴智华 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F24F7/00 | 分类号： | F24F7/00;F24F13/02;F24F11/00;F24F11/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 王华英 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种用于半导体制造车间火灾烟尘扩散抑制的气流系统，包括：通风管组，包括若干阵列排布的通风管，所述通风管安装于所述半导体制造车间的天花板处；通风管组控制器，与所述通风管组连接，适于控制所述通风管组中通风管工作的数量、分组及风力。本实用新型的气流系统通过高压气流和低压气流的作用隔离火灾区域和安全区域，不设置任何物理的障碍物在车间内，节约空间，部署容易，操作方便，省去安装防火门和移动车间设备的麻烦；本实用新型的气流系统将原有的通风管道进行改造，节约成本，且不影响正常状态下通风管道原有的功能；可用于控制污染气体、悬浮颗粒或挥发性有机化合物的泄漏等情况。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 制造 车间 火灾 烟尘 扩散 抑制 气流 系统 | ||
【主权项】：
一种用于半导体制造车间火灾烟尘扩散抑制的气流系统，其特征在于，包括：通风管组，包括若干阵列排布的通风管，所述通风管安装于所述半导体制造车间的天花板处；通风管组控制器，与所述通风管组连接，适于控制所述通风管组中通风管工作的数量、分组及风力。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201621167917.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基于换热器的地下空间通风装置
- 下一篇：一种通风钢结构
