[实用新型]一种激光器

摘要

本实用新型提供一种激光器，包括用以输出具有可调频率和脉宽的激光脉冲的种子源；用以在调制信号的控制下将激光脉冲调制成具有一定包络形状的光脉冲串的光调制器；用于对光脉冲串进行放大以提高光脉冲串的激光功率的第一放大器；用于将放大后的光脉冲串分为完全相同的第一脉冲串和第二脉冲串的分束器；用于对第一脉冲串和第二脉冲串分别进行放大以提高第一脉冲串和第二脉冲串的激光功率的两个第二放大器。本实用新型的激光器通过聚焦，可以将两个脉冲串于待划片物上形成上下两层分别由若干聚焦点（爆炸点）组成的切割层，适用于较厚LED晶圆片的一次性切割，改善厚片加工的外观直线度和外观效果，有效提高激光划片的质量。

主权项

一种激光器，其特征在于：所述激光器包括：用以输出具有可调频率和脉宽的激光脉冲的种子源；与所述种子源相连，用以在调制信号的控制下将所述激光脉冲调制成具有一定包络形状的光脉冲串的光调制器；与所述光调制器相连，用于对所述光脉冲串进行放大以提高所述光脉冲串的激光功率的第一放大器；与所述第一放大器相连，用于将放大后的所述光脉冲串分为完全相同的第一脉冲串和第二脉冲串的分束器；与所述分束器相连，用于对所述第一脉冲串和所述第二脉冲串分别进行放大以提高所述第一脉冲串和所述第二脉冲串的激光功率的两个第二放大器。