[实用新型]一种晶圆片的抛光夹具有效
| 申请号： | 201621173789.1 | 申请日： | 2016-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN206263785U | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 徐云明;徐明阳 | 申请（专利权）人： | 浙江蓝特光学股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙)11489 | 代理人： | 吴建锋 |
| 地址： | 314023 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆片的抛光夹具，包括呈圆盘状的盘体，其特征在于，所述盘体边沿处具有若干均布的齿牙，所述盘体中心具有定位孔，所述盘体上还具有贯穿的且用于放置晶圆片的抛光孔，所述抛光孔的数量至少为两个，相邻两抛光孔之间的盘体上还具有贯穿的校正孔。本晶圆片的抛光夹具由于在定位孔处安装有与其相匹配的小型晶圆片，因此，能保证被抛光作业晶圆片伸出盘体的高度，因此，其抛光质量能得到保证。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 抛光 夹具 | ||
【主权项】：
一种晶圆片的抛光夹具，包括呈圆盘状的盘体，其特征在于，所述盘体边沿处具有若干均布的齿牙，所述盘体中心具有定位孔，所述盘体上还具有贯穿的且用于放置晶圆片的抛光孔，所述抛光孔的数量至少为两个，相邻两抛光孔之间的盘体上还具有贯穿的校正孔。
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