[实用新型]一种氦气浓度关联型氦气检漏系统有效
| 申请号： | 201621180607.3 | 申请日： | 2016-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN206235438U | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 崔文豪;落合英二郎 | 申请（专利权）人： | 广舜检测技术（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙)31257 | 代理人： | 董红曼 |
| 地址： | 201160 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种氦气浓度关联型氦气检漏系统，包括用于检测氦气浓度的氦气检漏仪(1)，其与被试物的内部空腔以抽吸管道(3)连通；氦气混合气源装置(2)，其具有以管道(22)相连的喷枪(21)，喷枪(21)与被试物的外部连通；及回收泵(4)，其设置于抽吸管道(3)的管路之上。本实用新型采用氦气混合气源，通过稀释氦气浓度达到降低氦气使用成本的目的，同时配有一体化气体回收机构以回收所使用的氦气，并且为了提高泄漏率的测量精度，以氦气浓度关联型测量方式予以精度修正，实现了一种高精度低成本的氦气检漏系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氦气 浓度 关联 检漏 系统 | ||
【主权项】：
一种氦气浓度关联型氦气检漏系统，其特征在于，包括：用于检测氦气浓度的氦气检漏仪(1)，其与被试物的内部空腔以抽吸管道(3)连通；氦气混合气源装置(2)，其具有以管道(22)相连的喷枪(21)，所述喷枪(21)与被试物的外部连通；及回收泵(4)，其设置于所述抽吸管道(3)的管路之上。
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