[实用新型]玻璃基板清洗装置有效

专利信息
申请号: 201621182323.8 申请日: 2016-10-27
公开(公告)号: CN206229811U 公开(公告)日: 2017-06-09
发明(设计)人: 邱天霜;董光明;王广彪;石志强;李震;李俊生;张桂龙;杨静怡 申请(专利权)人: 芜湖东旭光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司
主分类号: B08B11/04 分类号: B08B11/04;B08B1/02
代理公司: 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙)11348 代理人: 王伟锋,刘铁生
地址: 241009 安徽省芜湖*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型是关于一种玻璃基板清洗装置,涉及玻璃基板加工技术领域,主要目的在于提高玻璃基板从入口进入清洗设备的稳定性。主要采用的技术方案为玻璃基板清洗装置,包括用于清洗玻璃基板的清洗设备,其外壁上具有入口;第一柔性支撑托,设置于所述清洗设备的外壁上,所述第一柔性支撑托的柔性支撑部支撑在所述入口的下侧,所述第一柔性支撑托的柔性支撑部的端部的高度高于所述入口的下檐高度。位于入口下侧的第一柔性支撑托的柔性支撑部能够对玻璃基板起到支撑作用,可防止玻璃基板与清洗设备外壁上的入口下檐发生刮擦,减少对玻璃基板造成玻璃划伤的同时,还会避免预湿进口尺寸,使预湿水汽从预湿进口外溢,从而提高清洗工艺的稳定性。
搜索关键词: 玻璃 清洗 装置
【主权项】:
一种玻璃基板清洗装置,其特征在于,包括:用于清洗玻璃基板的清洗设备,其外壁上具有入口;第一柔性支撑托,设置于所述清洗设备的外壁上,所述第一柔性支撑托的柔性支撑部支撑在所述入口的下侧,所述第一柔性支撑托的柔性支撑部的端部的高度高于所述入口的下檐高度。
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