[实用新型]防止塑封料浇口残留的控制系统有效
申请号: | 201621182512.5 | 申请日: | 2016-11-03 |
公开(公告)号: | CN206148400U | 公开(公告)日: | 2017-05-03 |
发明(设计)人: | 张吉华 | 申请(专利权)人: | 上海纪元微科电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙)11210 | 代理人: | 杨忠孝 |
地址: | 200031 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种防止塑封料浇口残留的控制系统,至少包括真空吸盘、真空发生器以及用于控制吸放塑封料浇口的第一电磁阀,其特征在于,还包括吹气电磁阀以及单向控制阀;吹气电磁阀通过第二气路连通于真空吸盘和单向控制阀;单向控制阀还通过第一气路连通于第一电磁阀,形成一供压缩空气从第一电磁阀流入单向电磁阀的通道;单向控制阀通过第三气路连通于过滤器,形成一供压缩空气从单向控制阀流入过滤器的通道。本实用新型具有可以有效防止气压泄露、提高吹力、防止塑封料浇口残留。 | ||
搜索关键词: | 防止 塑封 浇口 残留 控制系统 | ||
【主权项】:
一种防止塑封料浇口残留的控制系统,至少包括真空吸盘、真空发生器以及用于控制吸放塑封料浇口的第一电磁阀,其特征在于,还包括吹气电磁阀以及单向控制阀;所述吹气电磁阀通过第二气路连通于所述真空吸盘和所述单向控制阀;所述单向控制阀还通过第一气路连通于所述第一电磁阀,形成一供压缩空气从所述第一电磁阀流入所述单向电磁阀的通道;所述单向控制阀通过第三气路连通于过滤器,形成一供压缩空气从单向控制阀流入过滤器的通道;当拾料手臂下放塑封料浇口时,所述第一电磁阀与所述单向阀处于关闭状态,所述吹气电磁阀处于打开状态;当拾料手臂吸起塑封料浇口时,所述第一电磁阀和所述单向控制阀处于打开状态,所述吹气电磁阀处于关闭状态。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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