[实用新型]一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统

摘要

一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统，包括氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔、精馏塔和氮气回收装置；反应装置包括第二除尘器；第二除尘器包括集尘管、第二排污管和第四进气管；第四进气管竖向设置，其底部位于集尘管内，其顶部贯穿于集尘管的顶部；第四进气管的底部设有气体分布器，位于气体分布器的上方设有气体扰流板；第二排污管设于集尘管的底部；氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔和精馏塔依次连接，氮气回收装置连接于精馏塔和反应装置之间；本实用新型根据上述内容提出一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统，其能够稳定回收氮气，除尘效果好，四氟化碳纯化效果理想。

主权项

一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统，包括氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔、精馏塔和氮气回收装置；其特征在于：所述反应装置包括第二除尘器；所述第二除尘器包括集尘管、第二排污管和第四进气管；所述第四进气管竖向设置，其底部位于所述集尘管内，其顶部贯穿于所述集尘管的顶部；所述第四进气管的底部设有气体分布器，位于所述气体分布器的上方设有气体扰流板；所述第二排污管设于所述集尘管的底部；所述氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔和精馏塔依次连接，所述氮气回收装置连接于所述精馏塔和反应装置之间；所述氮气回收装置用于将所述精馏塔中作为冷媒的液氮回收，并利用液氮回收时汽化吸热的原理与输入至所述氮气回收装置的水进行热交换，并将换热后的冷却水输出至所述反应装置，将氮气重新回收至所述精馏塔和反应装置。