[实用新型]一种高精度大量程双层纳米光栅微位移检测装置

摘要

本实用新型涉及一种高精度大量程双层纳米光栅微位移检测装置，所述微位移检测装置包括位移传感模块、处理单元、显示单元，所述位移传感模块通过所述处理单元连接所述显示单元；所述位移传感模块包括能相对移动的双层纳米光栅,所述双层纳米光栅包括可动纳米光栅阵列和固定纳米光栅，并所述可动纳米光栅阵列由多个纳米光栅区域拼接而成，并多个所述光栅区域间留有一定间距；所述处理单元包括一细分电路，所述细分电路可提高该光电探测器阵列输出信号的分辨率。本实用新型与现有微米级的光栅周期相比，其光栅周期更小，提高了光栅检测微位移的精度；通过采用拼接的纳米光栅阵列，量程更大；整体结构紧凑，微型化程度高，实用性更强。

主权项

一种高精度大量程双层纳米光栅微位移检测装置，其特征在于，所述微位移检测装置包括：将物理位移信号转化为电信号的位移传感模块；将电信号转化为可读信号的处理单元；将可读信号进行显示的显示单元，所述位移传感模块通过所述处理单元连接所述显示单元；所述位移传感模块包括一能相对移动的双层纳米光栅，所述双层纳米光栅包括接收物理位移信号的可动纳米光栅阵列、及固定纳米光栅。