[实用新型]自动硅片清洗机有效
| 申请号： | 201621196166.6 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN206179833U | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 马胜南;轩云喜 | 申请（专利权）人： | 北京南轩兴达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100000 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种自动硅片清洗机，包括若干并排相邻排列的清洗槽、若干用于承载硅片的承载篮、设置在清洗槽上方的平移机构、通过升降机构与平移机构连接的搬运装置，所述搬运装置包括顶板、若干个抓放机构以及若干个下压机构，所述下压机构包括水平设置的压杆、若干竖直固定在压杆上的活动杆，所述活动杆的顶端与所述顶板连接。其能够对平稳的完成对硅片承载篮的搬运工作。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 硅片 清洗 | ||
【主权项】：
一种自动硅片清洗机，包括若干并排相邻排列的清洗槽(300)、若干用于承载硅片的承载篮(400)、设置在清洗槽(300)上方的平移机构、通过升降机构与平移机构连接的搬运装置，其特征在于：所述搬运装置包括顶板(500)、若干个抓放机构以及若干个下压机构(540)，所述下压机构(540)包括水平设置的压杆(541)、若干竖直固定在压杆(541)上的活动杆(542)，所述活动杆(542)的顶端与所述顶板(500)连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京南轩兴达电子科技有限公司，未经北京南轩兴达电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201621196166.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：LED编带机及其影像检测装置
- 下一篇：硅片理片器
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
