[实用新型]监测装置及超声波清洗机有效
| 申请号： | 201621196791.0 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN206168874U | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 董明;邵业明;沈雪松;钱文明 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;G01D21/00;G01B21/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种监测装置及超声波清洗机，所述监测装置用于监测一超声波发生器的工作状态，所述监测装置包括：一弹性球、一用于反弹所述弹性球的平面和一标识，所述标识表示分别在所述超声波发生器的N个档位下，所述弹性球被反弹的高度位置。根据所述弹性球的反弹原理，通过观察所述弹性球被反弹的高度，与所述标识进行比较，便可直观的判断出所述超声波发生器的工作状态是否正常。同时，将所述监测装置应用于超声波清洗机中，可以有效提高清洗效率和良率。 | ||
| 搜索关键词： | 监测 装置 超声波 清洗 | ||
【主权项】：
一种监测装置，用于监测一超声波发生器的工作状态，所述超声波发生器的震荡信号的强度分为N个档位，其特征在于，所述监测装置包括：一平面；一弹性球；一标识，所述标识表示分别在所述超声波发生器的N个档位下，所述弹性球在所述平面上反弹的高度位置；其中，N为正整数。
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