[实用新型]氧化铝陶瓷的双光路CO2激光加工装置有效

专利信息
申请号: 201621197180.8 申请日: 2016-11-04
公开(公告)号: CN206185312U 公开(公告)日: 2017-05-24
发明(设计)人: 赵裕兴;李清峰 申请(专利权)人: 苏州德龙激光股份有限公司
主分类号: B23K26/06 分类号: B23K26/06;B23K26/073;B23K26/142;B23K26/36;B23K26/70
代理公司: 江苏圣典律师事务所32237 代理人: 王玉国
地址: 215021 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了氧化铝陶瓷的双光路CO2激光加工装置,包含光路结构相同的两套光路系统,每套光路系统均包含射频CO2激光器、圆偏振器、扩束镜、激光切割头以及三只反射镜,射频CO2激光器的光路输出端布置圆偏振器,圆偏振器的输出光路上依次布置反射镜、扩束镜、反射镜、反射镜以及激光切割头,激光切割头的光路输出端正对于待加工工件的表面;激光切割头内设有CO2激光聚焦镜片,CO2激光聚焦镜片下方安装有保护镜片,激光切割头的下部通过位置调节机构安装有喷嘴,可通过调节位置调节机构调整喷嘴的前后左右位置。提高氧化铝陶瓷基片的加工效率和加工品质,改善氧化铝基片切割和划片工艺效果。
搜索关键词: 氧化铝陶瓷 双光路 co2 激光 加工 装置
【主权项】:
氧化铝陶瓷的双光路CO2激光加工装置,其特征在于:包含光路结构相同的两套光路系统,每套光路系统均包含射频CO2激光器、圆偏振器、扩束镜、激光切割头以及三只反射镜,所述射频CO2激光器的光路输出端布置圆偏振器,圆偏振器的输出光路上依次布置有反射镜、扩束镜、反射镜、反射镜以及激光切割头,激光切割头的光路输出端正对于待加工工件的表面;所述激光切割头内设有CO2激光聚焦镜片,CO2激光聚焦镜片下方安装有保护镜片,激光切割头的下部通过位置调节机构安装有喷嘴,可通过调节位置调节机构调整喷嘴的前后左右位置。
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