[实用新型]含氘电极真空弧离子源瞬态氘分子气压的测量装置

摘要

本实用新型公开了含氘电极真空弧离子源瞬态氘分子气压的测量装置，包括真空规、氢气瓶、石英玻璃窗、凸透镜、光纤、光谱仪、光谱探测器及含氘电极的真空弧离子源，其中，真空弧离子源设有真空腔及位于真空腔内的离子源阴极和离子源阳极，真空规和氢气瓶均与真空腔接通，真空腔的腔壁设有开口，石英玻璃窗与真空腔腔壁连接且封闭真空腔腔壁上的开口，凸透镜正对石英玻璃窗设置，光纤和光谱探测器均与光谱仪连接，且光纤相对连接光谱仪端的另一端的端头设于凸透镜的焦点处。本实用新型应用时能在不干扰放电的前提下快速得到局域瞬态氘分子气压。

主权项

含氘电极真空弧离子源瞬态氘分子气压的测量装置，包括含氘电极的真空弧离子源，所述真空弧离子源设有真空腔（1）及位于真空腔（1）内的离子源阴极（3）和离子源阳极（4），其特征在于，还包括真空规（2）、氢气瓶（5）、石英玻璃窗（8）、凸透镜（9）、光纤（10）、光谱仪（11）及光谱探测器（12），所述真空规（2）和氢气瓶（5）均与真空腔（1）接通，所述真空腔（1）的腔壁设有开口，所述石英玻璃窗（8）与真空腔（1）腔壁连接且封闭真空腔（1）腔壁上的开口，所述凸透镜（9）正对石英玻璃窗（8）设置，所述光纤（10）和光谱探测器（12）均与光谱仪（11）连接，且光纤（10）相对连接光谱仪（11）端的另一端的端头设于凸透镜（9）的焦点处。