[实用新型]抗环境振动影响的微机械陀螺仪

摘要

本实用新型公开了一种抗环境振动影响的微机械陀螺仪，包括第一结构、第二结构和耦合梁，第一结构和第二结构通过耦合梁连接且关于耦合梁对称，耦合梁仅允许第一结构和第二结构反向运动；第一结构包括第一框架、第一驱动质量块、第二驱动质量块、第一驱动耦合梁、第一梳齿驱动电极、第一梳齿检测电极、第一支撑梁和第二支撑梁；第二结构包括第二框架、第三驱动质量块、第四驱动质量块、第二驱动耦合梁、第二梳齿驱动电极、第二梳齿检测电极、第三支撑梁和第四支撑梁。本实用新型微机械陀螺仪可抑制线振动和角振动的影响。

主权项

一种抗环境振动影响的微机械陀螺仪，其特征是，包括：第一结构(1)、第二结构(2)和耦合梁(3)；第一结构(1)和第二结构(2)通过耦合梁(3)连接且关于耦合梁(3)对称，耦合梁(3)仅允许第一结构(1)和第二结构(2)反向运动；第一结构(1)包括第一框架(11)、第一驱动质量块(12)、第二驱动质量块(13)、第一驱动耦合梁(14)、第一梳齿驱动电极(15)、第一梳齿检测电极(16)、第一支撑梁(17)和第二支撑梁(18)；其中，第一驱动质量块(12)、第二驱动质量块(13)、第一驱动耦合梁(14)、第一梳齿驱动电极(15)、第一支撑梁(17)和第二支撑梁(18)均设于第一框架(11)内；第一驱动质量块(12)和第二驱动质量块(13)通过第一驱动耦合梁(14)连接且关于第一驱动耦合梁(14)对称，第一驱动耦合梁(14)促使第一驱动质量块(12)和第二驱动质量块(13)等位移反向运动；第一梳齿驱动电极(15)分布于第一驱动质量块(12)和第二驱动质量块(13)四周，第一梳齿检测电极(16)分布于第一框架(11)四周；第一支撑梁(17)用来连接衬底与第一框架(11)；第二支撑梁(18)用来将第一驱动质量块(12)、第二驱动质量块(13)与第一框架(11)连接；第二结构(2)包括第二框架(21)、第三驱动质量块(22)、第四驱动质量块(23)、第二驱动耦合梁(24)、第二梳齿驱动电极(25)、第二梳齿检测电极(26)、第三支撑梁(27)和第四支撑梁(28)；其中，第三驱动质量块(22)、第四驱动质量块(23)、第二驱动耦合梁(24)、第二梳齿驱动电极(25)、第三支撑梁(27)和第四支撑梁(28)设于第二框架(21)内；第三驱动质量块(22)和第四驱动质量块(23)通过第二驱动耦合梁(24)连接且关于第二驱动耦合梁(24)对称，第二驱动耦合梁(24)促使第三驱动质量块(22)和第四驱动质量块(23)等位移反向运动；第二梳齿驱动电极(25)分布于第三驱动质量块(22)和第四驱动质量块(23)四周，第二梳齿检测电极(26)分布于第二框架(21)四周；第三支撑梁(27)用来连接衬底与第二框架(21)；第四支撑梁(28)用来将第三驱动质量块(22)、第四驱动质量块(23)与第二框架(21)连接。