[实用新型]平台机构有效
| 申请号： | 201621212269.7 | 申请日： | 2016-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN206282834U | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 任亦凱;林唯修;王胜弘;林裕超 | 申请（专利权）人： | 致茂电子（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 梁挥,祁建国 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种平台机构，适用于承载一晶圆。平台机构包含一基座、一转盘、一载具、至少一夹具以及至少一解扣件。转盘可旋转地设置于基座上。载具可移除地设置于转盘上用以承载晶圆。至少一夹具枢设于转盘上用以夹持载具，以让载具固定于转盘。至少一解扣件可活动地设置于基座上。当至少一夹具随着转盘转动至一待解扣位置时，转盘上的至少一夹具的位置对应基座上的至少一解扣件，使得至少一解扣件可推抵至少一夹具，以令至少一夹具枢转而与载具相分离。 | ||
| 搜索关键词： | 平台 机构 | ||
【主权项】：
一种平台机构，适用于承载一晶圆，其特征在于，该平台机构包含：一基座；一转盘，能够旋转地设置于该基座上一载具，能够移除地设置于该转盘上，用以承载该晶圆；至少一夹具，枢设于该转盘上，用以夹持该载具，以让该载具固定于该转盘；至少一解扣件，能够活动地设置于该基座上，当该至少一夹具随着该转盘转动至一待解扣位置时，该转盘上的该至少一夹具的位置对应该基座上的该至少一解扣件，使得该至少一解扣件能够推抵该至少一夹具，以令该至少一夹具枢转而与该载具相分离。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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