[实用新型]一种晶硅太阳能电池片用冷却吸盘有效
申请号: | 201621215818.6 | 申请日: | 2016-11-11 |
公开(公告)号: | CN206179836U | 公开(公告)日: | 2017-05-17 |
发明(设计)人: | 李志刚;雷合鸿 | 申请(专利权)人: | 武汉帝尔激光科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司11212 | 代理人: | 杨立;陈振玉 |
地址: | 430223 湖北省武汉*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种晶硅太阳能电池片用冷却吸盘,包括冷却板和分别密封固定在冷却板上、下端面上的冷却密封板和吸板;冷却板下端面开有凹槽,吸板覆盖住凹槽,吸板与凹槽之间形成气腔;冷却板上设有上下贯穿其并连通气腔的吸气通道,冷却密封板上对应吸气通道的位置设有上下贯穿其的装配孔,冷却板上端面设置有冷却液流通槽,冷却密封板覆盖住冷却液流通槽,冷却密封板上安装有分别与冷却液流通槽连通的进液接头和出液接头;吸板上设有多个上下贯穿其的气孔,且气孔均与气腔连通。优点:结构简单,采用冷却液对吸盘的吸板进行传导降温,能在电池片搬运过程中对电池片进行快速冷却,提高了加工效率,并可避免分离的硼氧再次结合。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 冷却 吸盘 | ||
【主权项】:
一种晶硅太阳能电池片用冷却吸盘,其特征在于:包括冷却板(1)和分别密封固定在冷却板(1)上、下端面上的冷却密封板(2)和吸板(3);所述冷却板(1)下端面开有凹槽(11),所述吸板(3)覆盖住所述凹槽(11),所述吸板(3)与凹槽(11)之间形成气腔;所述冷却板(1)上设有上下贯穿其并连通所述气腔的吸气通道(12),所述冷却密封板(2)上对应吸气通道(12)的位置设有上下贯穿其的装配孔(21),所述冷却板(1)上端面设置有冷却液流通槽(13),所述冷却密封板(2)覆盖住所述冷却液流通槽(13),所述冷却密封板(2)上安装有分别与所述冷却液流通槽(13)连通的进液接头(22)和出液接头(23);所述吸板(3)上设有多个均匀设置并上下贯穿其的气孔(31),且所述气孔(31)均与气腔连通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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