[实用新型]一种石英晶片氮气吹净设备有效
申请号: | 201621238520.7 | 申请日: | 2016-11-18 |
公开(公告)号: | CN206253408U | 公开(公告)日: | 2017-06-16 |
发明(设计)人: | 张积武 | 申请(专利权)人: | 郑州原创电子科技有限公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02;B08B15/04 |
代理公司: | 郑州中原专利事务所有限公司41109 | 代理人: | 李想 |
地址: | 450016 河南省郑州市经济*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种石英晶片氮气吹净设备,包括上箱体和下箱体,上箱体一侧设取放口,下箱体封闭;上箱体底部设伸入下箱体的操作区,操作区为由上到下渐小的喇叭口,操作区与下箱体之间设漏灰网,下箱体通过管路与吸尘器连接;吹净设备上还设置氮气喷头。相对于现有技术,本实用新型首先采用干燥、清洁的高纯氮气将石英晶片表面灰尘吹落,然后灰尘通过漏灰网在下箱体中被吸尘器集中吸收,达到晶片清洁的效果,并可有效避免周围环境污染。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 晶片 氮气 设备 | ||
【主权项】:
一种石英晶片氮气吹净设备,其特征在于:包括上箱体和下箱体,上箱体一侧设取放口,下箱体封闭;上箱体底部设伸入下箱体的操作区,操作区为由上到下渐小的喇叭口,操作区与下箱体之间设漏灰网,下箱体通过管路与吸尘器连接;吹净设备上还设置氮气喷头。
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