[实用新型]一种透射EBSD夹具有效
申请号: | 201621239373.5 | 申请日: | 2016-11-18 |
公开(公告)号: | CN206210746U | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 李阳;李瑞;明建川 | 申请(专利权)人: | 中国科学院地球化学研究所 |
主分类号: | H01J37/26 | 分类号: | H01J37/26;H01J37/20 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司11246 | 代理人: | 夏艳 |
地址: | 550081 贵州*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种透射EBSD夹具,包括基座,基座为楔形结构,基座的倾斜面上安装有夹体,夹体上设置有通孔,夹头上设置有与通孔相匹配的滑块,夹头通过滑块活动安装在夹体的通孔内。该透射EBSD夹具结构简单,将装有样品的透射电镜专用铜网安装在夹头上,通过基座固定在扫描电镜样品台上,实现样品的透射EBSD(背散射电子衍射)观察,相对于常规EBSD具有空间分辨率高、荷电效应弱的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 透射 ebsd 夹具 | ||
【主权项】:
一种透射EBSD夹具,其特征在于,该透射EBSD夹具包括基座,基座为楔形结构,基座的倾斜面上安装有夹体,夹体上设置有通孔,夹头上设置有与通孔相匹配的滑块,夹头通过滑块活动安装在夹体的通孔内。
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